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電子級三氯氫硅
電子級三氯氫硅:實現在國內半導體領域的批量銷售。


項目
指標
外觀
無色透明液體
純度
≥99.99%
雜質含量ng/g(ppb)≤硼+鋁(B+AI)≤0.10
磷+砷+銻(P+As+Sb)≤0.20
鐵(Fe)≤3.00
鎳(Ni)≤0.80
鉻(Cr)≤1.00
釩(V)≤0.01
錳(Mn)≤0.20
鉬mu(Co)≤0.02
銅(Cu)≤0.05
鈷(Mo)≤1.00
SiH2Cl2含量≤0.002%
SiCl4含量≤0.004%
SiH3Cl含量≤0.004%
總碳含量≤1ppm


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